光学3D轮廓仪

光学3D轮廓仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块
光学3D轮廓仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。
光学3D轮廓仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、高校科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等,提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。
光学3D轮廓仪的产品功能:
样件测量能力:满足从超光滑到粗糙、镜面到全透明或黑色材质等所有类型样件表面的测量;
自动测量功能:自动单区域测量功能、自动多区域测量功能、自动拼接测量功能;
编程测量功能:可预先配置数据处理和分析步骤,结合自动测量功能,实现一键测量;
数据处理功能:提供位置调整、去噪、滤波、提取四大模块的数据处理功能;
数据分析功能:提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能。其中粗糙度依据ISO4287的线粗糙度、ISO25178面粗糙度;几何轮廓分析包括台阶高、距离、角度、曲率等特征测量和直线度、圆度形位公差评定等功能;结构分析包括孔洞体积和波谷深度等;频率分析包括纹理方向和频谱分析等功能;功能分析包括SK参数和体积参数等功能。
批量分析功能:可根据需求参数定制数据处理和分析模板,针对同类型参数实现一键批量分析;
更多访问:
http://www.jccetou.com/Products-35801209.html 
https://www.chem17.com/st462222/erlist_2239934.html 
原文链接:https://www.ttxk.net/news/5926.html,转载和复制请保留此链接。
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